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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

激光共焦顯微鏡
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用。通過(guò)快速高效精確測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡(jiǎn)化您的工作流程。

產(chǎn)品型號(hào):OLS5100

更新時(shí)間:2024-11-16

廠商性質(zhì):代理商

訪問(wèn)量:3411

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品分類(lèi)

PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品介紹

激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測(cè)量精度和光學(xué)性能與智能工具相結(jié)合,讓顯微鏡更加方便使用。通過(guò)快速高效精確測(cè)量亞微米級(jí)形狀和表面粗糙度的可靠數(shù)據(jù)簡(jiǎn)化您的工作流程。

 激光共焦顯微鏡主機(jī)

型號(hào)OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
總倍率

54x–17,280x


視場(chǎng)

16 µm–5,120 µm


測(cè)量原理光學(xué)系統(tǒng)反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC


光接收元件激光:光電倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相機(jī)

高度測(cè)量顯示分辨率0.5 nm

動(dòng)態(tài)范圍16位

重復(fù)性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm

準(zhǔn)確度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:測(cè)量長(zhǎng)度[μm])

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長(zhǎng)度[μm])

測(cè)量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *51 nm(典型值)
寬度測(cè)量顯示分辨率1 nm

重復(fù)性3σn-1  *1 *2 *5 

5X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm



準(zhǔn)確度*1 *3 *5測(cè)量值+/- 1.5%

拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接長(zhǎng)度[mm])
單次測(cè)量時(shí)最大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

4096 × 4096像素


最大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量

3600萬(wàn)像素


XY載物臺(tái)配置長(zhǎng)度測(cè)量模塊不適用不適用

工作范圍

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng)

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng)

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng)


最大樣品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)


激光光源波長(zhǎng)405 nm

最大輸出0.95 mW

激光等級(jí)2級(jí)(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
電氣功率240 W240 W278 W240 W
質(zhì)量顯微鏡主體約 31 kg約 32 kg約 50 kg約 43 kg

控制箱約 12 kg



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